반도체 제조 공정별 특화 FDC 솔루션 개발 기업 지에스에프솔루션(GSF솔루션, 대표 김승환)이 반도체 실시간 이상감지 특화 기술 ‘SSDAM’ 양산판매에 돌입한다고 밝혔다.

GSF솔루션은 반도체 제조 공정별 특화 실시간 이상감지 솔루션을 개발하는 기업으로 SK하이닉스 사내벤처 스핀오프를 통하여 김승환 대표가 2022년 5월에 설립하였다.

GSF솔루션은 미세화 되어가는 반도체 공정에서의 사고 예방 및 수율 향상을 목표로 각 제조 공정 상황에 맞는 솔루션을 개발하고 제공하고 있다. 그 결과 SK하이닉스의 제품 평가 인증과 녹색기술인증 등을 받았으며, 5건의 특허 등록, 8건의 국내 특허 출원, 5건의 해외 특허 출원을 했다.

이번에 양산판매에 돌입하는 SSDAM(Smart Sensor Data Analysis Management)은 고속으로 회전하는 WAFER의 이상 상태를 GSF솔루션만의 특화된 기술로 실시간으로 진단하고, 1개의 모듈만을 통하여 8개 이상의 CHAMBER에서 동시에 데이터를 수집할 수 있는 장치이다. 장비에 특별한 조치나 변화를 주지 않기에 장비에 영향이 없으며, FDC(Fault Detection & Classification)의 구현이 가능하기에 설비의 운영 상태를 효율적으로 관리하고 문제를 사전에 예방할 수 있다.

SK하이닉스와의 다양한 협력을 통하여 맞춤형 솔루션을 구현할 수 있었고, 메모리 반도체뿐만 아니라 시스템반도체에도 적용할 수 있는 활용도 높은 기술적 구현을 완성할 수 있었다. GSF솔루션이 보유한 실시간 이상감지 특화 솔루션들은 해외 특허 출원 및 등록을 시작으로 해외 판매의 활로를 찾을 예정이다.

김 대표는 “GSF솔루션이 보유한 이상감지 특화 기술들은 온디바이스화가 가능하도록 R&D를 마쳤으며, 고도화를 통하여 데이터보안이 필수인 반도체 분야와 제조공정 환경에서 클라우드의 의존도를 낮추고 고객이 필요한 AI기술을 활용할 수 있도록 제안할 예정이다. 이는 결국 수율의 향상과 장비 가동률의 증가로 이어질 수 있기에 제조산업 환경에 이바지할 수 있을 것”이라고 말했다.

한편, GSF솔루션은 서원대학교 산학협력단이 운영하는 중기부 창업도약패키지 사업에 선정되어 다양한 지원을 받고 있다.