임영진 저스템 대표[저스템 제공]

[헤럴드경제=김민지 기자] 반도체 습도제어 솔루션의 글로벌 기술역량을 보유한 저스템은 자사 2세대 습도제어 장치 JFS(Justem Flow Straightener)를 국내 톱 반도체장비기업 S사와 현재 적용 테스트 중이라고 13일 밝혔다.

JFS는 저스템이 원천 특허기반으로 만든 세계최초 기류제어 제품으로 EFEM(Equipment Front End Module) 장비에 추가 유틸리티 없이 장착해 반도체 풉(FOUP) 내부습도를 1%이하로 제어함으로써 수율향상에 기여하는 장치다.

저스템은 현재 S사와 진행하고 있는 평가 작업결과가 올 상반기에 나오고 글로벌 종합반도체기업 M사로부터 예상되는 추가물량이 더해지면 하반기에는 JFS솔루션의 시장진출이 한층 탄력을 받을 것으로 기대하고 있다.

저스템은 앞서 글로벌 종합반도체기업 M사로부터 두차례 JFS를 수주받아 기술성과 신뢰성을 인정받으며 납품하고 있다.

최근 세계 반도체시장이 다시 회복기에 접어들고 HBM 수요가 급격히 증가하는 등 반도체 업계가 활기를 띠고 있는 가운데 습도제어를 통한 수율제고는 제품의 완성도와 비용절감의 주요 요소 중 하나다. 저스템은 2016년부터 FOUP에 N2를 공급하여 내부습도를 5%까지 제어하는 1세대 제품 ‘N2 PURGE’ 장비를 글로벌 종합반도체기업에 3만여 시스템을 제공해 왔다. ‘N2 PURGE’ 제품의 세계시장 점유율은 현재 80%에 달하는 것으로 추정된다.