‘가스분석기(GM-TOF)’로 반도체산업협회서
회사 “반도체 기업에 공급물량 확대 가능해져”
질량분석장비 기업 아스타(대표 조응준)가 반도체 공정용 가스 검사장치로 ‘양산성능평가 인증’을 받았다.

이 회사는 최근 한국반도체산업협회로부터 이 인증을 받았으며, 대상은 국내 최초로 개발한 실시간 ‘가스분석기(GM-TOF)’다. 이는 세계 최대 메모리 반도체 기업 중의 하나인 S사 생산라인에서 10개월 가량 테스트를 거친 제품이다.

반도체산업협회는 국내 반도체 3사(삼성전자, 하이닉스, 동부하이텍) 주도의 ‘반도체 장비·재료 성능평가 팹’을 구축해 운영 중이다. 중소 반도체장비, 재료업체의 경쟁력 제고와 대-중소기업 간 상생협력 차원이다.

이를 통해 장비·재료 검사라인의 성능 검증·평가 및 인증으로 핵심부품의 국산화를 유도한다. 교차 인증된 품목의 경우 기업간 교차구매를 실시해 관련 산업을 활성화하게 된다.

지금까지 국내 재료·장비 업체들은 제품을 개발하고도 시장에서 성능을 인정받는데 어려움을 겪었다. 성능평가 팹 운용을 위해 필요한 양산라인 설치에 수 조원의 비용이 들기 때문.

아스타는 5일 “이번 반도체 양산성능평가 인증으로 국내 뿐 아니라 일본, 대만 등 해외 매출도 탄력을 받을 것으로 기대된다. 향후 더욱 적극적인 영업을 전개할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

국내 반도체 제조사들은 반도체 공정 중 발생하는 기체를 포집해 가스를 분석하는데 외국산 분석기를 쓰고 있다. 상대적으로 고가이며 고장 및 수리에 2~3주가 소요돼 국산화 필요성이 제기돼왔다.

회사 관계자는 “산업용 분석기기를 국내 대기업에 매년 공급하면서 기술력을 쌓아왔다. 이번 반도체 양산 성능인증으로 공급물량을 크게 늘리는 분기점이 될 것으로 시장에서는 평가하고 있다”고 했다.