대만 TSMC도 美 어플라이드 손잡고 차세대 첨단 반도체 장비 개발 가속

어플라이드 ‘에픽센터’ 창립 파트너 참여
50억달러 투입…첨단 장비 R&D 시설


대만 파운드리(반도체 위탁생산) 기업 TSMC가 미국 반도체 제조장비 기업 어플라이드 머티어리얼즈(어플라이드)의 첨단 반도체 장비 연구개발(R&D) 시설인 ‘에픽(EPIC)센터’의 창립 멤버로 참여한다. [어플라이드 머티어리얼즈 제공]


[헤럴드경제=김현일 기자] 대만 파운드리(반도체 위탁생산) 기업 TSMC가 미국 반도체 제조장비 기업 어플라이드 머티어리얼즈(어플라이드)의 첨단 반도체 장비 연구개발(R&D) 시설인 ‘에픽(EPIC)센터’의 창립 멤버로 참여한다.

12일 어플라이드에 따르면 미국 실리콘밸리의 에픽센터는 올해 가동을 앞두고 있다. 초기 연구단계부터 대규모 양산까지 혁신 기술의 상용화 기간을 획기적으로 단축하도록 설계됐다. 미국 내 역대 최대 반도체 장비 R&D 투자 규모인 약 50억달러가 투입됐다.

앞서 삼성전자와 SK하이닉스도 에픽센터의 창립 파트너로 참여한다고 밝힌 바 있다. 반도체 제조 기업들은 어플라이드의 R&D 포트폴리오에 조기 접근하고 학습 주기를 단축해 차세대 기술의 양산 전환을 앞당길 수 있을 것으로 기대하고 있다.

TSMC와 어플라이드는 AI 및 고성능 컴퓨팅(HPC) 수요 증가에 대응해 첨단 로직 공정 전반에서 전력·성능·면적을 개선하는 공정 기술을 개발할 예정이다. 수율과 변동성 제어, 신뢰성을 높이는 첨단 공정 통합 기술 혁신에도 집중할 방침이다.

프라부 라자 어플라이드 반도체 제품 그룹 사장은 “TSMC는 에픽센터의 창립 파트너로서 어플라이드의 혁신 팀과 차세대 장비에 우선적으로 접근해 기술 개발에서 양산으로의 전환을 가속화할 수 있을 것”이라고 전했다.

미위제 TSMC 수석 부사장 겸 공동 최고운영책임자(COO)는 “글로벌 규모의 AI 과제에 대응하려면 업계 전반의 협력이 필수적이다. 어플라이드의 에픽센터는 차세대 기술을 위한 장비와 공정 준비를 가속하는 데 이상적인 환경을 제공한다”고 밝혔다.

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