삼성전자와 SK하이닉스가 고성능 인공지능(AI) 메모리 개발을 위해 첨단 제조장비 구매를 늘리면서 국내에 진출한 외국계 반도체 제조장비 업체들도 두 자릿수 성장세를 기록하며 수혜를 누린 것으로 나타났다.

양사가 고대역폭메모리(HBM)의 성능 강화를 위해 미세공정 전환을 서두르고 있는 만큼 초정밀 반도체 제조장비에 대한 수요는 지속적으로 강세를 띨 것이란 전망이 나온다.

6세대 HBM4부터 베이스다이가 파운드리를 통해 만들어지면서 무게중심이 D램 공정에서 로직 공정으로 옮겨간 데다 갈수록 높이 쌓아 올리는 적층 경쟁이 치열해져 첨단 패키징 장비 수요가 우상향하고 있다는 분석이다.

장비사들에게도 중국 시장이 주춤한 상황에서 양대 메모리 기업이 포진한 한국 시장은 전략적으로 더욱 중요한 지역이 됐다. 이에 맞춰 인프라 투자 및 인재 채용 등을 통해 공략 속도를 올리고 있다.

20일 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 국내에 설립한 ASML코리아의 감사보고서에 따르면 2025년 연간 매출은 91억1800만 유로(15조8900억원)를 기록했다. 전년 같은 기간 70억5100만 유로(약 12조2900억원) 대비 29.3% 성장했다. ASML코리아의 매출은 삼성전자와 SK하이닉스에 판매하는 반도체 시스템 장비 및 부품 그리고 장비 유지보수 및 기술 지원 서비스를 통해 발생한다.

가장 큰 비중을 차지하는 시스템 장비 매출은 제품을 양사에 인도한 시점에 수익으로 인식한다. ASML코리아의 시스템 장비 매출은 2024년 7조8700억원에서 지난해 10조6600억원으로 1년 만에 35% 불어나며 실적 성장에 크게 기여한 것으로 나타났다.

삼성전자와 SK하이닉스가 버티고 있는 한국은 ASML에게 갈수록 중요한 시장이 되고 있다. 올 1분기 ASML의 전체 매출에서 한국 비중은 45%를 기록했다. 이는 작년 1분기 40%보다 5% 포인트 늘어난 수치다. 대만(23%), 중국(19%)과 큰 격차를 보였다.

세계 2위 장비업체인 ASML은 반도체 크기를 줄이는 초미세 공정의 필수 장비로 꼽히는 극자외선(EUV) 노광장비를 세계에서 유일하게 생산 중이다.

현재 삼성전자가 경기도 평택(P4·P5)에, SK하이닉스가 충북 청주(M15X)에 신규 생산시설을 조성하면서 EUV 장비 확보에 속도를 내고 있다. SK하이닉스는 지난달 ASML코리아로부터 11조9497억원 규모의 EUV 노광장비를 오는 2027년 12월까지 단계적으로 인도받기로 했다고 공시한 바 있다.

세계 1위 반도체 장비사 미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT) 코리아도 2025 회계연도(2024년 11월~2025년 10월) 기준 매출이 15조5600억원을 기록해 전년 대비 17% 성장세를 보였다. 식각·증착 등 반도체 전공정 대부분에 필요한 장비를 생산하고 있는 AMAT는 삼성전자, SK하이닉스 등에 장비를 공급하고 있다.

도쿄일렉트론코리아 역시 2025 회계연도(2024년 4월~2025년 3월) 매출이 1조5290억원을 기록해 전년 대비 34% 증가했다. 작년 12월 실적 발표내용에 따르면 한국 시장 매출 비중은 전체의 27.1%까지 상승했다. 이는 최근 9개 분기 중 최고 수준이다. 반면, 한때 49.9%를 차지했던 중국 비중은 31.8%까지 떨어졌다. 김현일 기자