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전기硏, SiC 전력반도체 ‘킬러 결함’ 정체 찾았다

- 측정 난제였던 사다리꼴 결함 구조 밝혀 KERI가 SiC 전력반도체 공정에서 발생하는 거대 사다리꼴 결함의 복잡한 내부 구조와 원자 단위에서 진화 과정을 세계 최초로 밝혀냈다.[한국전기연구원 제공] [헤럴드경제=구본혁 기자] 최근 고전압/고품질 SiC 전력반도체의 …

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