박광선 어플라이드코리아 대표가 12일 기자간담회에서 삼성전자의 투자를 발표하고 있다. 박지영 기자.

[헤럴드경제=박지영 기자] 삼성전자가 미국 반도체 제조·검사장비 업체 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)가 미국 실리콘밸리에 조성하고 있는 반도체 R&D 협업 센터인 ‘에픽(EPIC) 센터’에 첫번째 파트너로 합류한다. 양사는 최신 반도체 공정 개발에 나설 예정이다.

AMAT 코리아는 12일 서울 조선 팰리스에서 가진 국내 언론과의 간담회에서 이같이 밝혔다. AMAT의 에픽센터는 초기 연구 단계부터 대규모 양산까지 긴밀한 협업이 가능한 최첨단 시설로, 올해 개소 예정이다. 첨단 반도체 장비 R&D 분야에서 미국 내 최대 규모인 50억달러(약 7조2400억원)가 투자됐다.

AMAT와 삼성전자는 공동 R&D로 현재 세대보다 여러 노드 앞선 차세대 반도체를 위한 신규 소재 및 공정 기술 개발에 나선다. 첨단 로직 및 메모리 전반에 적용될 차세대 소자를 구현하기 위한 첨단 패터닝과 식각(etch), 증착(deposition) 공정 등 원자 단위 혁신 기술 개발에도 집중할 계획이다.

게리 디커슨 AMAT 최고경영자(CEO)는 “반도체 혁신의 엄청난 속도를 따라잡기 위해 업계는 차세대 제조 기술을 제공하는 방식에 있어 협업 구조를 재정립해야 한다”며 “양사의 협업으로 첨단 기술의 상용화 속도를 그 어느 때보다 빠르게 앞당길 것”이라고 밝혔다.

전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장 부회장은 “삼성전자와 어플라이드 머티어리얼즈는 선단 반도체 장비 기술 발전을 위해 오랜 파트너십을 지속해오고 있다”며 “새로운 에픽센터를 계기로 양사 간 기술 협력이 한층 더 강화되기를 기대한다”고 말했다.