지난 27일 밤 대만 북동부 해역에서 발생한 규모 7.0의 강진으로 인해 세계 최대의 파운드리 기업 TSMC의 첨단 공정이 영향을 받을 것이란 보도가 나왔다.[게티이미지]

[헤럴드경제=도현정 기자]지난 27일(현지시간) 대만 북동부 해역에서 발생한 규모 7.0 강진으로 인해 세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업 TSMC의 첨단 공정에 영향이 불가피할 것이라는 전망이 나왔다.

중국시보와 연합보 등 현지 언론들은 29일 소식통을 인용해 이 같이 보도했다. 이 소식통에 따르면 지난 27일 이란(宜蘭) 지역 근해에서 발생한 강진으로 신주과학단지 내 TSMC의 일부 공장이 대피 기준에 도달, 근무자 등이 예방 차원에서 외부로 대피했다.

이번 지진으로 건물이 구조적으로 손상되지는 않았지만, 첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 등 정밀 장비는 매우 민감해 진동이 발생하면 장비 보호를 위해 자동으로 작동 중단되는 것으로 알려졌다. 소식통은 지진 발생 당시 생산 중이던 첨단 웨이퍼는 폐기하거나 재검사가 필요한 상황이라 전했다.

남부과학단지(난커·南科) 타이난의 TSMC 공장은 3나노(㎚·10억분의 1ｍ)와 5나노 등 첨단 공정이 있어 수율(완성품 중 양품 비율)에 문제가 발생하면 매출에 직접적인 영향을 받을 수도 있다. 해당 공장이 받은 영향은 진도 4 정도로 전해졌다.

진도는 절대 강도를 의미하는 규모와 달리 지진이 일어났을 때 해당 지역에 있는 사람의 느낌이나 물체의 흔들림 정도 등을 수치로 나타낸 상대적인 개념이다. 진도 4는 대다수 사람이 놀라고 천장에 매달린 전등이 크게 흔들리는 수준이다.

저우줘후이 대만 칭화대 재료학과 특별초빙 교수는 이번 지진으로 신주과학단지 내 파이프라인 등의 문제로 칩 생산에 영향이 있을 수 있다고 봤다. 특히 실리콘 웨이퍼에 섬세한 패턴을 식각(에칭)하는 장비의 위치 변동 및 정전에 따른 가동 중단으로 100∼200개에 달하는 후속 공정에까지 영향이 간다는 것이다. 저우줘후이 교수는 생산라인의 웨이퍼가 전부 폐기될 수 있다며, 최대 1억대만달러(약 45원) 이상의 손실이 발생할 수도 있다고 전했다.

TSMC는 지난 1월에도 남부 타이난 지역에서 발생한 규모 6.4 지진으로 인해 53억대만달러(약 2422억원)의 손실을 봤다.

이번 지진은 지난 27일 오후 11시5분(현지시간) 대만 이란현 인근 해역에서 발생한 것으로, 진원은 이란현에서 동쪽으로 32.3km, 진원 깊이는 72.8km였다. 이번 지진은 1999년 9월 21일 대만 난터우에서 2496명의 사망자를 낳은 규모 7.6의 지진 이후 규모 7.0 이상의 지진으로는 7번째다.

대만 언론들은 이번 지진으로 인해 다음해 1월 15일 예정된 TSMC 2025년도 4분기 실적설명회에 시장과 업계의 관심이 쏠린다고 보도했다.