나노종합기술원 연구진이 반도체 핵심소재 감광제 도포장비를 작동하고 있다.

국내 나노기술 핵심인프라 구축을 선도해온 나노종합기술원이 설립 20주년을 맞았다.

나노종합기술원은 10일 대전컨벤션센터에서 산학연 연구자 및 관계 기관 등이 참석한 가운데 ‘설립 20주년 기념식 및 국제포럼’을 개최했다.

이날 기념식에서는 기술원 및 나노반도체 발전에 기여한 공로로 삼성전자, ㈜디엔에프, KAIST 등 관계자에 대해 과기정통부장관, 대전시장, 기술원장 표창을 수여했다.

나노종합기술원은 우리나라 나노기술의 시작과 함께 구축된 대표적 나노종합팹 시설로, R&D 서비스 22만여건, 장비활용 41만여건, 지원기관 8900여개 등 오늘날 한국이 나노선진국 진입과 반도체 글로벌 기술패권 경쟁에 있어 기술혁신을 위한 핵심 인프라로서 자리매김하고 있다. 2002년 나노종합팹시설구축사업 KAIST 유치를 시작으로 2004년 팹시설 완공, 부설 나노종합팹센터 설립에 이어 2005년 3월 산학연 연구자를 대상으로 본격적인 나노기술 개발 지원 서비스를 시작했다. 2012년 구축사업 종료와 함께 나노종합기술원으로 기관명칭을 변경, 2014년 과기부 직할출연기관으로 편입되면서 지속적 성장기반을 마련하게 됐다.

2019년 반도체 기술자립과 경쟁력 강화를 위해 국내 최초 12인치(300mm) 반도체 소부장 테스트베드를 구축함으로써 우리나라를 대표하는 나노·반도체 R&D 지원기관으로 연구와 기술개발 실증 플랫폼 역할을 충실히 수행하고 있다.

나노종합기술원은 지난 20여년간의 성장 기반을 바탕으로 연구자 중심의 시설과 장비, 공정플랫폼을 구축, 서비스 프로바이더로서 미래 첨단기술의 든든한 조력자로 발전해 나갈 계획이다. 대기업과의 협력을 통한 300mm 반도체 소부장 테스트베드 양산평가 확충, 첨단패키징 개방형 R&D 플랫폼 구축 등 반도체 생태계 구축에 속도를 낼 예정이며, 차세대 지능형반도체 집적공정플랫폼 서비스, 나노반도체기술 첨단바이오, 디스플레이, 전고체전지 융복합 플랫폼 구축 등을 통해 차세대 기술개발을 지원할 계획이다.

박흥수 나노종합기술원장은 “국가 공공 나노인프라로 원천기술 연구개발과 상용화를 지원하는 서비스 프로바이더의 역할을 강화해 나갈 것”이라며 “반도체, 첨단바이오 등 국가 전략기술 경쟁력 지원을 위해 산학연 연구자 중심의 개방형 융복합 플랫폼 기관으로 만들어 가겠다”고 밝혔다. 구본혁 기자